平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法

摘要

一种用于精密仪器和精密测量领域的平面光波导的微重力加速度传感器及测量方法，传感器中的探测质量块通过悬臂梁同外框架固定，外层金属膜沉积在光学玻璃板上，光学玻璃板通过螺丝固定在外框架侧面，内层金属膜沉积在探测质量块上，外层金属膜背向内层金属膜，并且中间保持有空气隙。测量方法为：将激光器发射的激光入射到光学玻璃板上的外层金属膜，当满足耦合条件后，光耦合进入由外层金属膜、光学玻璃板、空气隙、内层金属膜构成的光波导结构中，从外层金属膜与空气分界面上反射的光强随着探测质量块与外层金属膜的间距改变而变化，通过检测反射光强度的变化量，来测量探测质量相对光学玻璃板位置的改变，从而实时测得加速度的大小。

主权项

1、一种平面光波导的微重力加速度传感器，包括：外框架(1)、探测质量块(2)、悬臂梁(3)、光学玻璃板(4)、外层金属膜(5)、空气隙(6)、内层金属膜(7)，其特征在于，探测质量块(2)通过悬臂梁(3)同外框架(1)固定，外层金属膜(5)沉积在光学玻璃板(4)上，光学玻璃板(4)通过螺丝固定在外框架(1)的侧面，内层金属膜(7)沉积在探测质量块(2)上，光学玻璃板(4)上的外层金属膜(5)背向探测质量块(2)上的内层金属膜(7)，并且两者中间保持有空气隙(6)。