| 发明名称 | 五自由度精密定位平台 | ||
| 摘要 | 一种五自由度精密定位平台，采用压电驱动器驱动，其特征在于该平台由基体及其底部的第一支座和第二支座构成，该基体包含第一动平台、第二动平台和第三动平台，其中第一动平台实现x方向平动，第二动平台实现y方向平动，第三动平台实现z轴转动，第一支座和第二支座单独伸长，通过伸长量的同异带动基体实现z方向平移和一维转动，所述的第三动平台分别通过第一转动副柔性铰链和第二转动副柔性铰链与底部的第一支座和第二支座连接。本发明五自由度精密定位平台，可以实现纳米级的定位精度，而且具有易于加工、结构紧凑、体积小、位移分辨率高、频率响应快和控制简单的特点。 | ||
| 申请公布号 | CN1588556A | 申请公布日期 | 2005.03.02 |
| 申请号 | CN200410053300.2 | 申请日期 | 2004.07.30 |
| 申请人 | 中国科学院上海光学精密机械研究所 | 发明人 | 王勇;刘志刚;薄锋;朱健强 |
| 分类号 | G12B5/00 | 主分类号 | G12B5/00 |
| 代理机构 | 上海新天专利代理有限公司 | 代理人 | 张泽纯 |
| 主权项 | 1、一种五自由度精密定位平台，采用压电驱动器驱动，其特征在于该平台由基体(4)及其底部的第一支座(5)和第二支座(6)构成，该基体(4)包含第一动平台(1)、第二动平台(2)和第三动平台(3)，其中第一动平台(1)实现x方向平动，第二动平台(2)实现y方向平动，第三动平台(3)实现z轴转动，第一支座(5)和第二支座(6)单独伸长，通过伸长量的同异带动基体(4)实现z方向平移和一维转动，所述的第三动平台(3)分别通过第一转动副柔性铰链(7)和第二转动副柔性铰链(8)与底部的第一支座(5)和第二支座(6)连接。 | ||
| 地址 | 201800上海市800－211邮政信箱 | ||