发明名称 |
半导体装置 |
摘要 |
本发明的半导体装置,在形成于半导体基板上的第1配线层中,相邻的配线按照第1配线、第1屏蔽配线的顺序排列,而且在半导体配线基板上形成的第2配线层中,相邻的配线分别按照第2屏蔽配线、第2配线的顺序排列,以与第1配线层的第1配线、第1屏蔽配线分别对应,从而能够使相邻配线的配线间电容降低,而且也能够降低相邻配线之间的噪声,能够不降低信号的动作速度,而且又减少电力消耗。 |
申请公布号 |
CN1589498A |
申请公布日期 |
2005.03.02 |
申请号 |
CN02822917.7 |
申请日期 |
2002.11.18 |
申请人 |
松下电器产业株式会社 |
发明人 |
平野博茂;山冈邦吏 |
分类号 |
H01L27/108;H01L21/8242;H01L27/10 |
主分类号 |
H01L27/108 |
代理机构 |
上海专利商标事务所 |
代理人 |
包于俊 |
主权项 |
1.一种半导体装置,其特征在于,具有在第1配线层中,第1配线、第2配线,第3配线、以及第4配线形成于第1方向,在所述第1配线层的上层的第2配线层中,第5配线、第6配线、第7配线、以及第8配线形成于所述第1方向,并且,从上面看,所述第5配线、第6配线,第7配线、以及第8配线与所述第1配线、第2配线,第3配线、以及第4以大致没有重叠的结构形成的配线结构。 |
地址 |
日本国大阪府门真市 |