硫酸回收装置

摘要

本发明涉及一种能够将在进行晶片清洗过程中浓度降低了的硫酸浓缩并达到可以回收利用程度的硫酸回收装置。该硫酸回收装置可以回收由硫酸和过氧化氢溶液混合所制备的晶片清洗液中的硫酸。该装置包括反应槽，它有至少一个吸入口和一个排出口两个开口，并浓缩从吸入口引入的完成晶片清洗过程的晶片清洗废液中的硫酸，然后将获得的浓硫酸从排出口排出。该装置还包括加工晶片的晶片加工槽和将浓硫酸供给晶片加工槽的供应设备。

主权项

1、一种硫酸回收装置，该装置用于从硫酸和过氧化氢溶液混合所制备的晶片清洗液中回收硫酸，包括：反应槽，它有至少一个吸入口和至少一个排出口，在该反应槽中，浓缩从吸入口引入的完成晶片清洗过程的晶片清洗废液中的硫酸，得到浓硫酸，然后从排出口排出浓硫酸；用于加工晶片的晶片加工槽；以及将浓硫酸供给晶片加工槽的供应设备。