化学监测的方法和装置

摘要

本发明系关于使用具有电浆产生器的光谱仪时，以化学物随时间消耗的型态为基础，在其工作槽中监测化学物。相关的型态可包含消耗的改变、到达消耗的最高平坦处、消耗的消失、或出现消耗。在某些具体实例中，在工作物件上制造结构时，则视消耗的型态达到方法规范后再前进至下一步骤。在另一具体实例中，以相关型态的分析为基础，建立处理时间的标准。而其他具体实例系关于以相关型态的分析为基础，在工作物件上的控制工作。本发明可为含有待进行方法的逻辑与资源的方法或装置。