摘要 |
一种BAW共振器(100),包括一压电层(102)具有一第一表面及相对于该第一表面之一第二表面,一第一电极(104)设置于该压电层(102)之该第一表面上,一第二电极(106)设置于该压电层(102)之该第二表面上,一基板(108),以及一音声反射器(110)设置于该基板(108)与该第二电极(106)之间,该音声反射器(110)包括从具有高音声阻抗之材料以及具有低音声阻抗之材料制成之复数层,其中含有具有高音声阻抗材料之层的区域与含有具有低音声阻抗材料之层的区域被交替相邻设置。该音声反射器(110)之一性能系由存在于BAW共振器(100)中之一纵波(110)在该BAW共振器(100)之共振频率之反射率以及存在于BAW共振器(100)中之一剪切波(212)在该BAW共振器(100)之共振频率之反射率所决定。该音声反射器(110)之层及位于该音声反射器(110)及该压电层(102)之间的层(106a,106b)参照它们的数目,材料以及厚度而被选择,因此在共振频率之区域中之该纵波的透射率及该剪切波的透射率小于–10dB。 |