内连线的制造方法及其结构

摘要

一种内连线的制造方法，此方法系先在第一介电层上形成导线。然后，在第一介电层以及导线之表面上形成第一衬层。之后，在第一衬层之表面上形成第二衬层。接着，在第二衬层上形成第二介电层，其中第二介电层之蚀刻速率系高于第二衬层之蚀刻速率。继之，图案化第二介电层，以形成接触窗开口，且接触窗开口会穿过第二衬层以及第一衬层而暴露出导线之表面。由于在导线上所形成之第二衬层的蚀刻速率小于第二介电层的蚀刻速率，所以，在图案化第二介电层的过程中，第二衬层可以作为蚀刻终止层。