用于产生利用影像场映像之辅助特征之方法,程式产品及装置

摘要

本发明揭示的概念包括用于藉由产生对应于图案之影像场映像而产生待形成于基板表面上之图案的辅助特征之方法、程式产品及装置。自影像场映像提取特性，且根据步骤中提取之特性而产生图案之辅助特征。可相对于影像场映像之轮廓的主轴线来定向辅助特征。同时，辅助特征可为多边形且设定其尺寸以环绕轮廓或相对于轮廓内部来设定其尺寸。另外，可根据自影像场映像中识别之极值置放辅助特征。利用影像场映像，可排除用于产生辅助特征之知且复杂的基于二维规则之途径。