| 摘要 |
本发明揭示一种用于将有机材料之致密颗粒状物汽化至一基板之表面上以形成一显示器的热物理气相沈积源，其包含：一用以界定复数个间隔通道之外壳，其中每个间隔通道均用于接收致密颗粒状物；一位于该外壳上之覆盖板，其具有对应于该外壳之间隔通道的第一复数个开口；及一安置于该覆盖板上的电加热器结构。该热物理气相沈积源进一步包含：一孔板，其安置于电加热器结构上；一电绝缘间隔物部件，其位于电加热器结构与一孔板之间；及电路，其用于将电流施加至电加热器结构以产生足以汽化颗粒状物的热并容许材料之蒸汽流出物经过覆盖板、加热器结构、电绝缘间隔物部件及孔板从而到达基板上。 |
