用于维护机器部件的方法和装置

摘要

本发明有关一种维护机器部件之方法，该机器部件配置在一机器(1)之内部空间(11)，在此该内部空间(11)系保持在第一压力(Pvac)，且系经由一载入锁(LL)由一具有第二压力(Penv)之环境分开。该方法包含经由该载入锁(LL)将一机器部件(32，WT)运送出该内部空间(11)；及经由该载入锁(LL)将该维护机器部件及一分开替换机器部件之一运送进入该内部空间(11)。