无遮罩光刻用之投射光学系统

摘要

一种无遮罩光刻系统，其包含一照明系统、一具有非线形形状(例如，曲面、凹面、球面等等的)SLM、一曝光系统、及一分光镜，此分光镜将光从照明系统导引至SLM，并且从SLM导引至曝光系统。在一些实施例中，光学元件能够系位于分光镜与SLM之间，有可能做像差的校正。