电子显微镜试片制作方法

摘要

一种电子显微镜试片制作方法，包括下述步骤：提供一样品，样品表面具有一第一切割洞，接着将一覆盖材料填入第一切割洞中，然后在样品表面涂布一保护材料，再在邻近第一切割洞的位置，形成一第二切割洞，第一切割洞与第二切割洞之间的样品部分，即为电子显微镜试片，缺陷位于电子显微镜试片之上，最后去除电子显微镜试片表面的覆盖材料，并将电子显微镜试片从样品上取下，以供电子显微镜进行观测。