摘要 |
本发明之课题在于提供精密且廉价的树脂成形品的制造方法。其解决手段为:本发明之树脂成形品的制造方法,是包含下述步骤:在基板上形成第1光阻剂层;进行基板与光罩(A)的位置对准;使用光罩(A)之第1光阻剂层的曝光;在1光阻剂层上形成第2光阻剂层;进行基板与光罩(B)之位置对准;使用光罩(B)之第2光阻剂层的曝光;进行第2光阻剂层的热处理;进行光阻剂层的显像形成期望的光阻剂图案;光阻剂图案形成。且,藉由随着光阻剂图案,在基板上藉由电镀使金属构造体堆积之金属构造体形成步骤;及以金属构造体为模具,形成树脂成形品的成形品形成步骤,来制造树脂成形品。 |