晶舟盒

摘要

一种晶舟盒，具有一入口，适于将多片晶圆自晶舟盒之入口装载入晶舟盒内，并共同置入一机台以进行半导体制程。晶舟盒主要系由多个固定杆以及二连接件所构成。其中，固定杆系互相平行，且分别具有多个狭缝。狭缝之延伸方向系垂直于固定杆之延伸方向，而晶圆系适于分别插入于狭缝内。连接件系分别配置于固定杆之两端，且连接各固定杆。而且，当晶舟盒连同晶圆一起装配于上述机台内并进行半导体制程时，每个晶圆皆有一部分系凸出于晶舟盒之入口外。