使用积体电路致动器之空间灯光调变器及制造与使用此调变器之方法

摘要

一种空间灯光调变器(SLM)包含一积体电路致动器，其可使用光微影或其他类似技术而被制造。致动器包含致动器元件，其可由压电材料所制。一电极阵列被耦合至每一致动器元件之相反壁。各电极阵列可具有一或更多电极区段。反射装置阵列形成SLM。