照明光学装置、曝光装置及曝光方法

摘要

一种照明光学装置、曝光装置及曝光方法。依据来自光源(1)的光束，照明被照射面(M)的照明光学装置。照明光学装置具备纵横比变化手段(8、9)，用以对与被照射面为实质上傅立叶变换关系的照明瞳上所形成的光强度分布的纵横比，进行改变。纵横比变化手段配置在与照明瞳为实质上傅立叶变换关系的位置或其附近，并具备光学元件群(8a、8b、9a、9b)，其具有改变在垂直的两个方向上的放大率比。因此，基于简单的结构，可以随时调整在照明瞳上所形成的二次光源的纵横比。