在清洁模组间垂直传送半导体基材之方法与设备

摘要

本发明提供一种基材搬运器，至少包含一可沿一第一运动轴定位之滑架；一第一基材抓持器，系耦合至该滑架且可相对于该滑架沿一实质上垂直该第一运动轴之第二运动轴定位；及一第二基材抓持器，系耦合至该滑架且可相对于该滑架沿一实质上平行该第二运动轴之第三运动轴定位，其中该第二抓持器系可相对于该第一抓持器独立地移动。