先质起源材料之有效汽化用输送系统

摘要

本发明系有关于一种输送系统，用于以一控制速率来汽化及输送已汽化固态及液态先质，其中上述控制速率对于半导体制造应用具有特别效用。上述系统包括一汽化容器、一处理工具及一位于上述汽化容器与处理工具间之连接蒸气管线，其中上述系统更包括一输入流量控制器及/或一输出流量控制器，用以提供一控制量之可汽化起源材料至上述汽化容器及一控制流量速率之汽化起源材料至上述处理工具。