| 摘要 |
提供一种单结晶之制造方法，系以柴氏长晶法在单结晶拉晶装置11之长晶室1内使非活性气体流入，并将从原料融液2拉晶出之单结晶3以整流筒4包围；其特征在于：在单结晶径向之环状OSF区域外侧的N区域进行单结晶之拉晶时，当待拉晶之单结晶直径为D(mm)，系以该单结晶与整流筒间之非活性气体流量0.6D(L/min)以上、且长晶室内的压力0.6D(hPa)以下的条件，进行该N区域之单结晶拉晶。整流筒较佳为使用至少表面的Fe浓度为0.005ppm以下者。藉此，可提供一种单结晶之制造方法，当藉由CZ法以具备整流筒的装置来制造单结晶时，可制造出低缺陷且外周部之Fe浓度降到1×10^10atoms/cm^3以下之单结晶。 |
