| 摘要 |
本发明提供一种包括醇或其衍生物(作为有机溶剂)之光阻组成物。特别地，本发明提供一种包括硷溶型酚醛清漆树脂、二氮化奎宁酮感光化合物、与有机溶剂之正型光阻组成物，其中有机溶剂包括醇或其衍生物；及一种包括硷溶性丙烯酸树脂或酚醛清漆树脂、强酸或自由基产生化合物(因以UV射线照射)、交联剂、与有机溶剂之负型光阻组成物，其中有机溶剂包括醇或其衍生物。本发明亦提供一种去除光阻之有机溶剂，其中有机溶剂包括醇或其衍生物。本发明之光阻组成物系用于形成微米图样之微影术，其使用经照射部份与未照射部份(以UV射线照射)间之溶解度差异，而在涂覆薄膜时大为改良膜厚之均匀性。此外，依照本发明之有机溶剂可藉由自装置去除感光材料，而用以清洗在微电路形成程序期间接触感光材料之装置。其亦可去除残留在其上涂覆感光材料之基材之不欲部份上之感光材料。 |
