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发明名称
用于加压系统之基材组成
摘要
本发明系关于由一薄膜与一基材(85、82)装配而成的一种结构,该薄膜与基材分别具有第一热膨胀系数与不同于该第一热膨胀系数的第二热膨胀系数,且分别具有第一与第二装配面,花纹形成在该第二基材(82)中,该等花纹在与该第一与第二装配面平行的平面中系弹性的或挠性的。
申请公布号
TW200509217
申请公布日期
2005.03.01
申请号
TW093120670
申请日期
2004.07.09
申请人
S. O. I. 矽科技绝缘体工业公司
发明人
法伯瑞思 里特崔;布鲁诺 盖斯林;奥立佛 雷莎克
分类号
H01L21/08
主分类号
H01L21/08
代理机构
代理人
陈长文
主权项
地址
法国
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