薄膜电晶体(TFT)阵列及其制造方法

摘要

本发明系有关于一种制造薄膜电晶体(TFT)阵列之方法，包括以下步骤：首先提供一表面形成有复数个开关元件之基板；接着于基板上形成一保护层；之后于保护层上形成一感光层，其中该感光层之介电常数小于4.0；随后于感光层及保护层分别形成复数个对应于开关元件之贯穿孔(via)及接触孔；最后于基板上形成复数个与该接触孔重叠之画素电极。