发明名称 固态电解电容器及其制造方法
摘要 本发明一种固态电解电容器及其制造方法的固态电解电容器,系在由铌基体与氮化铌层所构成的阳极中,于氮化铌层的表面形成由氧化铌构成的介电层。此固态电解电容器的氮含量对于铌基体、氮化铌层及介电层的总量最好为0.001重量%以上且0.2重量%以下。另外,本发明之另一固态电解电容器系藉由在氮环境中将经热处理过的铌粉末,施行烧结而形成阳极。并在此阳极的表面形成由氧化铌所构成的介电层。且在此固态电解电容器中,铌粉末(NbNx)组成比X,最好为0.05以上且1.0以下。
申请公布号 TWI228734 申请公布日期 2005.03.01
申请号 TW093107726 申请日期 2004.03.23
申请人 三洋电机股份有限公司 发明人 矢野睦;高谷和宏;木本卫
分类号 H01G9/15 主分类号 H01G9/15
代理机构 代理人 洪武雄 台北市中正区博爱路80号6楼;陈昭诚 台北市中正区博爱路80号6楼
主权项 1.一种固态电解电容器,系具备有:基体,其系由铌所构成;氮化铌层,其系形成于前述基体的表面;以及介电层,系由形成于前述氮化铌层表面之氧化铌所构成。2.如申请专利范围第1项之固态电解电容器,其中,阳极系由前述基体与该氮化铌层构成。3.如申请专利范围第1项之固态电解电容器,其中,前述介电层系未含有氮。4.如申请专利范围第1项之固态电解电容器,其中,前述氮化铌层系实质的由Nb2N构成。5.如申请专利范围第1项之固态电解电容器,其中,氮含量,系相对于前述基体、前述氮化铌层及前述介电层的总量,为0.001重量%以上且0.2重量%以下。6.如申请专利范围第1项之固态电解电容器,其中,氮含量,系相对于前述基体、前述氮化铌层及前述介电层的总量,为0.001重量%以上且0.08重量%以下。7.一种固态电解电容器,系具备有:阳极,其系由氮化铌所构成;以及介电层,其系由形成于该阳极表面上的氧化铌所构成。8.如申请专利范围第7项之固态电解电容器,其中,前述氮化铌系由NbNX构成,且前述X为0.05以上且1以下。9.如申请专利范围第7项之固态电解电容器,其中,前述氮化铌系由NbNX构成,且前述X为0.05以上且0.75以下。10.如申请专利范围第7项之固态电解电容器,其中,前述阳极系由氮组成比不同的复数种类的氮化铌混合物构成。11.一种固态电解电容器之制造方法,系具备有:藉由使由铌所构成之基体的表面进行氧化,而形成由氧化铌所构成介电层的步骤;藉由将已形成前述介电层的前述基体,在氮气环境中施行热处理之方式,而在前述基体与前述介电层之间形成氮化铌层的步骤;以及施行阳极氧化的步骤。12.如申请专利范围第11项之固态电解电容器之制造方法,其中,前述热处理温度为300℃以上且920℃以下。13.如申请专利范围第11项之固态电解电容器之制造方法,其中,前述热处理温度为300℃以上且800℃以下。14.一种固态电解电容器之制造方法,系具备,藉由使由氮化铌所构成阳极表面进行氧化之方式,而在前述阳极的表面形成由氧化铌所构成介电层的步骤。图式简单说明:第1图系本发明第一实施形态的固态电解电容器构造图。第2图系第二实施形态的固态电解电容器构造图。第3图系实施例1之电容器的阳极及介电层的剖视图。第4图系相关实施例1之电容器,利用ESCA所实施的测定结果图。第5图系相关比较例1之电容器,利用ESCA所实施的测定结果图。第6图系相关比较例2之电容器,利用ESCA所实施的测定结果图。第7图系实施例1之电容器的漏电流测定方法模式图。
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