发明名称 用于计算光量之装置及其方法
摘要 本发明揭示一种计算光量的方法,藉由使用一黏结力测量单元(71)根据紫外光照射单元(61)照射紫外光可固化胶带的紫外光量来测量紫外光可固化胶带(11或21)的黏结力,及藉由使用一计算单元从已测量的紫外光可固化胶带的黏结力来计算对应预定黏结力的紫外光量,及其装置。该预定黏结力可预先储存在储存单元中或预先根据至少一种紫外光可固化胶带或紫外光可固化胶带的流逝时间决定该预定黏结力。然后,自动计算使用的紫外光可固化胶带需要光量以避免因光量不足或超过光量造成的问题。
申请公布号 TW200509190 申请公布日期 2005.03.01
申请号 TW093120993 申请日期 2004.07.14
申请人 东京精密股份有限公司 发明人 川岛勇
分类号 H01L21/00;H01L21/30 主分类号 H01L21/00
代理机构 代理人 陈长文
主权项
地址 日本