具有温度控制之基板支撑表面的基板支撑

摘要

本发明揭示一种基板支撑，其具有温度控制之基板支撑表面，该基板支撑包括一液体供应系统，该系统具有至少一液体来源及复数个液体流动通道。该液体供应系统可包括数个阀，用以控制该等液体流动通道之液体分布。该液体供应系统亦可包括一控制器，用以控制该液体供应系统之操作。液体可经由多种不同图样之该等流动通道被分布。该基板支撑亦可包括一热转移气体供应系统，该热转移气体供应系统在该基板支撑表面与一支撑在该基板支撑表面上之基板之间供应一热转移气体。