图案检查方法及装置以及图案对准方法

摘要

在一种图案检查的方法中，对准作为一参照之原始图案及由一摄影机感测之被量测图案之连续色调影像。至少该被量测图案之连续色调影像中一基部之位置根据该原始图案被侦测。至少一阈值根据由至少该基部之密度值之差异被设定。该被量测图案之连续色调影像根据该被设定之阈值二值化。该被量测图案由比较该二值化之被量测图案及该原始图案检查。一种图案检查装置及对准方法同样被揭露。