触压感测器以及其制造方法

摘要

所揭系为一种可供检测二表面之间的接触压力之触压感测器及其制造方法。该触压感测器包含一基材可撑持该感测器，及一接触压力敏感层会对施加于该触压感测器的压力很敏感。该方法亦包括将一形成于第一制程支撑基材上的处理后结构，由该第一制程支撑基材移转至一第二触压感测器支撑基材上。