发明名称 使用经黏着之数个光罩、合并数个介电薄片及/或经由平坦化而被部份移除之晶种层之电化学制造结构方法
摘要 本发明之实施例提供中型或微型三维构造(例如元件、装置与类似物)。实施例系有关于下列一者或更多:(1)此等构造之形成方式,其并入介电材料之薄片且/或其中使用种子层材料,以便容许介电材料上之电子沉积物系经由平坦化操作加以移除;(2)此等构造之形成方式,其中用于至少某些选择性图案形成操作之光罩系透过将光罩材料传递电镀到一基材或先前形成层之一表面上所获得;且/或(3)此等构造之形成方式,其中用以形成某些层之至少一部分的光罩系直接由代表该光罩构造之资料在该建造表面上形成图案,例如,在某些实施例中,光罩形成图案系藉着经由一电脑控制的喷墨喷嘴、或是经由一电脑控制的挤出装置选择性地分配材料所达成。
申请公布号 TW200508426 申请公布日期 2005.03.01
申请号 TW093112897 申请日期 2004.05.07
申请人 微制造股份有限公司 发明人 洛卡德;史摩里;莱森;陈理查
分类号 C25D5/02;H01L21/288 主分类号 C25D5/02
代理机构 代理人 恽轶群;陈文郎
主权项
地址 美国