用于双重精细结构之主模及其制造方法

摘要

一种方法及主模，其包括一金属支撑层及一包括玻璃或陶瓷材料的精细结构图案，其中该图案支撑层由一具有相对较低研磨速度(grinding speed)之第一材料形成，而该精细结构图案由一具有比该图案支撑层之材料更高研磨速度的第二材料层形成。