反射式干涉调节显示元件与其制造方法

摘要

在反射式干涉调节显示元件之下电极面向腔室之表面上覆盖一层保护层。因此，在蚀刻位于上、下电极之间的牺牲层时，保护层可以保护下电极的表面不受蚀刻剂之损伤，使上、下电极之间的距离不会因此变动而影响经此元件反射输出之光波长。