基板洗净装置及基板洗净方法

摘要

〔课题〕提供有，可以传达有效的超音波至基板表面的洗净水、进行更有效率的洗净之基板洗净装置(方法)。〔解决手段〕由洗净液供给喷嘴10，于与玻璃基板W的搬送方向相反的方向上，供给到玻璃基板表面之洗净液系，流动在玻璃基板W的表面。另一方面，由在被搬送之玻璃基板的下方配置超音波发振喷嘴14发振超音波到玻璃基板W上，传达超音波到供给在玻璃基板表面上之洗净液，来振动洗净液，使玻璃基板W的表面更为均匀、有效率地洗净。