洗净处理方法及洗净处理装置

摘要

〔课题〕提供可降低使用的洗净液的液量，且可得到高的洗净度的洗净处理方法及洗净处理装置。〔解决装置〕具有：藉由传送装置将板状的被处理物3传送于架台5上，对该被处理物3的至少一表面实施亲水处理的第一制程；在前述被处理物3的被亲水处理的面形成液膜24a的第二制程；以及由配设于可接触于形成于前述被处理物3的表面的前述液膜24a附近的超音波振荡面28c，对被处理物3照射超音波能量而洗净的第三制程。