柱状元件之清洗装置及其清洗方法

摘要

一种柱状元件之清洗装置，此清洗装置至少包含外槽、内槽、上盖与覆数个喷洒器。在外槽相对两端侧壁之上缘，各设有一开口，用以架撑由柱状元件两侧中心延伸出之一轴承。内槽，位于外槽内，用以容纳旋架于外槽底面上之柱状元件，其中在此内槽中注有第一清洗溶液。上盖，系覆盖于外槽上。喷洒器，系装设于上盖内部，当利用第一清洗溶液对柱状元件进行第一清洗程序后，藉由喷洒器喷出之第二清洗溶液接续对柱状元件进行第二清洗程序。