| 主权项 |
1.一种氧化锌气体感测装置,其包括: 一绝缘基底;形成于绝缘基底表面之两电极; 一覆盖绝缘基底及两电极之奈米级氧化锌膜,上述 奈米级氧化锌膜为柱状或管状具有高密度排列之 氧化锌奈米纤维阵列。 2.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之绝缘基底材料可为氧化铝、石英、 陶瓷或氮化矽。 3.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之电极通过沈积法或溅镀法形成于上 述绝缘基底表面。 4.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之电极材料可为铂(Pt)、金(Au)或其合 金材料。 5.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之奈米级氧化锌膜之制备可采用磁控 溅射法。 6.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之奈米级氧化锌膜之制备可采用化学 气相沈积法。 7.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之氧化锌奈米纤维直径范围为20~150奈 米。 8.如申请专利范围第1项所述之氧化锌气体感测装 置,其中所述之氧化锌奈米纤维长度可达10微米。 图式简单说明: 第一图系习知技术之氧化锌感测器之侧面示意图 。 第二图系第一图之氧化锌感测器之俯视图。 第三图系本发明之氧化锌感测器之侧面示意图。 第四图系本发明之氧化锌感测器之侧面局部放大 示意图。 |
