决定化学机械研磨的过渡研磨时间的方法

摘要

本发明之决定过度研磨时间之方法，包含步骤有：将予以研磨之多数特性送入化学机械研磨系统中，进行研磨以取得各别之过度研磨时间与终点检测时间；相关所得过度研磨时间与终点检测时间，推导出一最佳化公式，并且，将该最佳化公式存入该化学机械研磨系统中；及将所予进行研磨之特性的厚度输入，即可取得精确之过度研磨时间。