| 发明名称 |
Werkwijze voor het focusseren in een deeltjes-optisch toestel met behulp van astigmatisme in de deeltjesbundel. |
| 摘要 |
|
| 申请公布号 |
NL1024192(C2) |
申请公布日期 |
2005.03.01 |
| 申请号 |
NL20031024192 |
申请日期 |
2003.08.29 |
| 申请人 |
FEI COMPANY |
发明人 |
WILLEM HENDRIK MAES;ROBERTUS JOHANNES MICHAEL VAN VUCHT;HENDRIKUS PETRUS MARIA STERKEN |
| 分类号 |
H01J37/153;H01J37/21;(IPC1-7):H01J37/21;E01D15/24 |
主分类号 |
H01J37/153 |
| 代理机构 |
|
代理人 |
|
| 主权项 |
|
| 地址 |
|
