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发明名称 ION SOURCE HAVING REPLACEABLE AND SPUTTERABLE SOLID SOURCE MATERIAL
摘要
申请公布号 SG108825(A1) 申请公布日期 2005.02.28
申请号 SG20010004693 申请日期 2001.08.03
申请人 AXCELIS TECHNOLOGIES, INC. 发明人 THOMAS NEIL HORSKY;TOMMY DALE HOLLINGSWORTH
分类号 H01J27/08;H01J37/08;(IPC1-7):H01J27/08 主分类号 H01J27/08
代理机构 代理人
主权项
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