发明名称 VACUUM ARC VAPOR DEPOSITION APPARATUS
摘要
申请公布号 SG108942(A1) 申请公布日期 2005.02.28
申请号 SG20030007001 申请日期 2003.12.01
申请人 NISSIN ELECTRIC CO., LTD. 发明人 YASUO MURAKAMI;HIROSHI MURAKAMI
分类号 C23C14/24;C23C14/32;H01J37/32;(IPC1-7):C23C14/24 主分类号 C23C14/24
代理机构 代理人
主权项
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