发明名称 |
VACUUM ARC EVAPORATION APPARATUS, VACCUM ARC EVAPORATION METHOD AND MAGNETIC RECORDING MEDIUM |
摘要 |
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申请公布号 |
SG108992(A1) |
申请公布日期 |
2005.02.28 |
申请号 |
SG20040004347 |
申请日期 |
2004.07.05 |
申请人 |
FUJI ELECTRIC DEVICE TECHNOLOGY CO., LTD. |
发明人 |
NARUHISA NAGATA |
分类号 |
C23C14/24;G11B5/72;G11B5/84;H01J37/32 |
主分类号 |
C23C14/24 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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