| 主权项 |
1.一种用于静电夹之防护件,该防护件包含:(a)一陶瓷环,该陶瓷环具有:一内表面,系构成为可嵌合在该静电夹之圆周缘上,及一外表面,包含(i)一具有一凹槽之顶部与(ii)一侧部;及(b)一金属涂层,系设置在该外表面上之顶部。2.如申请专利范围第1项之防护件,更包含一由该凹槽径向向内形成之凸缘,该凸缘之尺寸系使一置于该静电夹上之基板可以被该凸缘固持定位。3.如申请专利范围第2项之防护件,更包含一由该凹槽径向向外形成之突起,且该突起高于该凸缘。4.如申请专利范围第1项之防护件,其中该金属涂层包含一具有由大约7.6至大约12.7mm之宽度的带。5.如申请专利范围第1项之防护件,其中该外表面形成一由该顶部至该侧部之大致弧形轮廓。6.如申请专利范围第1项之防护件,其中该外表面具有一由大约1至大约4微米之粗度平均値。7.如申请专利范围第1项之防护件,其中该凹槽具有一由大约2.9至大约5.6mm之宽度。8.如申请专利范围第1项之防护件,其中该凹槽之宽度与长度之比例是由大约2.4至大约4.4。9.如申请专利范围第1项之防护件,其中该陶瓷环包含Al2O3。10.如申请专利范围第1项之防护件,其中该陶瓷环之内表面在径向上呈阶状。图式简单说明:第1图(先前技术)是具有一习知防护件之静电夹之实施例之横截面侧视图;第2图是一基板加工装置之实施例之横截面侧视图,且该基板加工装置包含一室,该室包括一具有保护用防护件之静电夹;第3图是第1图之静电夹与防护件之横截面侧视图;及第4图是将一金属涂层喷涂在第3图之防护件之陶瓷环上之双线电弧喷涂装置的横截面侧视图。 |
