发明名称 有机电致发光装置之制造方法及配备有此有机电致发光装置之电子装置
摘要 依据有机电致发光装置之制造方法,而有机电致发光装置包含发光层(60)在阳极(23)与阴极(50)之间,在液相程序中,电子传输层形成材料被导入,以便形成电子传输层。由预定成分所组成的第一材料,例如硷金属、硷土族金属、及稀土族金属的卤化物(例如,LiF)或氧化物,被导入有机组排层(221)的开口(221a)中,以便形成电子传输层(65B)于实现蓝色发射之蓝色发光层上;及由有机金属错合物(例如,β-二酮错合物)所组成的第二材料,其一般被表示成MAn的化学式(使用中心原子M(例如,Ca)及配合基A(例如,乙醯丙酮)),被导入有机组排层的开口中,以便形成电子传输层(65RG)于实现红色及绿色发射之红色及绿色发光层上。
申请公布号 TWI228381 申请公布日期 2005.02.21
申请号 TW093101377 申请日期 2004.01.19
申请人 精工爱普生股份有限公司 发明人 高岛猛;武井周一;森井克行;保刈宏文;牧浦理惠;关俊一
分类号 H05B33/10;G09F9/00 主分类号 H05B33/10
代理机构 代理人 林志刚 台北市中山区南京东路2段125号7楼
主权项 1.一种有机电致发光装置之制造方法,该有机电致 发光装置包含发光层在阳极与阴极之间,该方法包 含步骤: 在液相程序中,导入至少一电子传输层形成材料于 发光层与阴极之间;以及 形成电子传输层于发光层上。 2.如申请专利范围第1项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,电子传输层形成材料包含预定的成 分,其系选自硷金属、硷土族金属、及稀土族金属 的卤化物或氧化物中。 3.如申请专利范围第1项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,电子传输层形成材料系由LiF微粒被 分散于其中之分散溶液所做的。 4.如申请专利范围第1项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,电子传输层形成材料系由水溶液所 做的,而在该水溶液中,选自硷金属、硷土族金属 、及稀土族金属的卤化物或氧化物中之预定成分 被溶解于水中。 5.如申请专利范围第1项到第4项任一项之有机电致 发光装置之制造方法,其中,发光层实现蓝色发射 。 6.如申请专利范围第1项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,电子传输层形成材料系由有机金属 错合物所做的。 7.如申请专利范围第6项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,有机金属错合物为-二酮错合物。 8.如申请专利范围第6项或第7项之有机电致发光装 置之制造方法,其中,发光层实现绿色及/或红色发 射。 9.如申请专利范围第1项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,液相程序对应于液滴排放程序。 10.如申请专利范围第1项之有机电致发光装置之制 造方法,其中,电子传输层具有范围从0.1nm到20nm的 厚度。 11.一种有机电致发光装置之制造方法,包含步骤: 形成第一、第二、及第三阴极; 形成一蓝色发光层于第一阴极上方; 形成一绿色发光层于第二阴极上方; 形成一红色发光层于第三阴极上方; 在液相程序中,导入第一电子传输层形成材料,其 包含一选自硷金属、硷土族金属、及稀土族金属 的卤化物或氧化物中之预定成分,以便形成第一电 子传输层于蓝色发光层上;以及 在液相程序中,导入包含有机金属错合物之第二电 子传输层形成材料,以便分别形成第二及第三电子 传输层于绿色及红色发光层上。 12.如申请专利范围第11项之有机电致发光装置之 制造方法,其中,第一电子传输层形成材料系由LiF 微粒被分散于其中之分散溶液所做的。 13.如申请专利范围第11项之有机电致发光装置之 制造方法,其中,有机金属错合物为-二酮错合物 。 14.如申请专利范围第11项之有机电致发光装置之 制造方法,其中,液相程序对应于液滴排放程序。 15.如申请专利范围第11项之有机电致发光装置之 制造方法,其中,第一、第二、及第三电子传输层 具有范围从0.1nm到20nm的厚度。 16.一种包含有机电致发光装置之电子装置,其包含 : 多个发光层,配置在阳极与阴极之间;以及 多个电子传输层,其系藉由在液相程序中,导入至 少一电子传输层形成材料于发光层与阴极之间而 被形成在发光层上。 17.一种有机电致发光装置,包含: 多个发光层,配置在阴极与对应于图素电极的阳极 之间,阴极和阳极系彼此相向配置;以及 多个电子传输层,其系藉由在液相程序中,导入至 少一电子传输层形成材料于发光层与阴极之间而 分别被形成在多个发光层上。 18.如申请专利范围第17项之有机电致发光装置,其 中,电子传输层形成材料系依据液滴排放法来予以 导入,而藉由该液滴排放法,液滴被定位及排放在 配置于图素电极上方之有机组排层之开口内的预 定位置。 19.如申请专利范围第18项之有机电致发光装置,其 中,电子传输层形成材料系由选自硷金属、硷土族 金属、及稀土族金属的卤化物或氧化物中之预定 成分所组成的,使得电子传输层形成材料被导入于 有机组排层之开口中,以便形成电子传输层于实现 蓝色发射的发光层上。 20.如申请专利范围第18项之有机电致发光装置,其 中,电子传输层形成材料系由被表示成MAn之化学式 的有机金属错合物所组成的(其中,M表示中心原子; A表示配合基;及n表示中心原子M的价数),电子传输 层形成材料被导入于有机组排层之开口中,以便形 成电子传输层于实现红色或绿色发射的发光层上 。 21.如申请专利范围第20项之有机电致发光装置,其 中,有机金属错合物对应于-二酮错合物,其中,中 心原子M对应于Ca,且配合基A对应于乙醯丙酮(acac) 。 图式简单说明: 图1系一电路图,显示依据本发明较佳实施例之有 机电致发光装置的配线结构; 图2系一平面图,示意显示有机电致发光装置的电 路布局及结构; 图3系沿图2之线A-B所取下的剖面图; 图4系沿图2之线C-D所取下的剖面图; 图5系一放大图,显示图3所示之剖面结构的基本部 件; 图6A系一剖面图,显示依据本发明较佳实施例之有 机电致发光装置制造方法的第一步骤,其中,一多 晶矽层经由表面保护层而被形成于基板上; 图6B系一剖面图,显示制造方法的第二步骤,其中, 多晶矽层遭受图案化而形成矽层,其系覆盖有一闸 极绝缘层; 图6C系一剖面图,显示制造方法的第三步骤,其中, 源极和汲极区域被形成而相对于矽层,且一导电层 被形成以覆盖闸极绝缘层的整个表面; 图6D系一剖面图,显示制造方法的第四步骤,其中, 实施图案化以形成闸极电极,且阴极电源线同时被 形成; 图6E系一剖面图,显示制造方法的第五步骤,其中, 使用遮罩来实施离子植入,以掺杂杂质进入矽层中 ; 图6F系一剖面图,显示制造方法的第六步骤,其中, 第一层间绝缘层被形成以覆盖基板的整个表面,而 后藉由微影法以遭受图案化,因此形成接触孔于对 应源极和汲极电极的预定位置; 图6G系一剖面图,显示制造方法的第七步骤,其中, 一导电层被形成以覆盖第一层间绝缘层; 图6H系一剖面图,显示制造方法的第八步骤,其中, 导电层系使用遮罩而遭受图案化以形成源极和汲 极电极; 图6I系一剖面图,显示制造方法的第九步骤,其中, 第二层间绝缘层被形成以覆盖第一层间绝缘层; 图6J系一剖面图,显示制造方法的第十步骤,其中, 藉由蚀刻而形成对应于汲极电极的接触孔,穿透过 第二层间绝缘层; 图6K系一剖面图,显示制造方法的第十一步骤,其中 ,覆盖基板的整个表面之透明导电层遭受图案化以 形成图素电极及假性图案; 图6L系一剖面图,显示制造方法的第十二步骤,其中 ,一亲液控制层被形成以覆盖第二层间绝缘层上的 图素电极及假性图案; 图6M系一剖面图,显示制造方法的第十三步骤,其中 ,有机层系藉由微影法或蚀刻而遭受图案化,以便 形成有机组排层于亲液控制层的预定位置,而后遭 受电浆处理,且其中,电洞传输层系藉由液滴排放 、乾燥、及加热来予以形成的; 图6N系一剖面图,显示制造方法的第十四步骤,其中 ,发光层系藉由液滴排放、乾燥、及加热有机组排 层的开口内部来予以形成的; 图6O系一剖面图,显示制造方法的第十五步骤,其中 ,电子传输层系藉由液滴排放、乾燥、及加热有机 组排层的开口内部来予以形成的; 图6P系一剖面图,显示制造方法的第十六步骤,其中 ,阴极系使用铝,藉由蒸发或溅击来予以形成的,且 一胶封基板也被形成,以胶封组件及元件于基板上 ;以及 图7系一立体图,显示包含有机电致发光装置之电 子装置(例如,可携式电话)的外观。
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