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发明名称 Wafer guides used in cleaning/drying process of semiconductor substrates
摘要
申请公布号 KR100471190(B1) 申请公布日期 2005.02.21
申请号 KR20040083686 申请日期 2004.10.19
申请人 发明人
分类号 H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 H01L21/304
代理机构 代理人
主权项
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