发明名称 SUPPORT DE SUBSTRAT ELECTROSTATIQUE MOBILE ET TRANSPORTABLE
摘要
申请公布号 FR2852444(B3) 申请公布日期 2005.02.18
申请号 FR20030007336 申请日期 2003.06.18
申请人 VEN TEC GESELLSCHAFT FUR VENTUREKAPITAL UND UNTERNEHMENSBERATUNF MBH 发明人 BUSSE KARL HERMANN;KEILBACH STEFFEN
分类号 H01L21/683;(IPC1-7):H01L21/00;H01L21/68 主分类号 H01L21/683
代理机构 代理人
主权项
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