| 发明名称 |
RINCAGE AU MOYEN D'UNE SOLUTION DE TENSIOACTIF APRES PLANARISATION MECANO-CHIMIQUE D'UNE TRANCHE |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
FR2842755(B1) |
申请公布日期 |
2005.02.18 |
| 申请号 |
FR20020009336 |
申请日期 |
2002.07.23 |
| 申请人 |
S.O.I.TEC SILICON ON INSULATOR TECHNOLOGIES |
发明人 |
FILIPOZZI LAURENT;METRAL FREDERIC |
| 分类号 |
H01L21/304;B08B1/04;B24B;B24B1/00;B24B7/22;B24B37/04;B28D5/00;H01L21/02;H01L21/306 |
主分类号 |
H01L21/304 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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