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Die vorliegende Erfindung betrifft ein Verfahren zur Charakterisierung von Werkstücken aus einem elektrisch leitfähigen Material oder aus einem Materialverbund mit einer Schicht oder einem Substrat aus dem elektrisch leitfähigen Material, bei dem ein elektrisch leitfähiger Bereich des Werkstücks durch flächige Einkopplung eines elektromagnetischen Impulses induktiv erwärmt und eine aus der induktiven Erwärmung resultierende örtliche Temperaturverteilung an einer Oberfläche des Werkstücks während der Einkopplung und/oder in zeitlichem Abstand zum Beginn der Einkopplung des elektromagnetischen Impulses erfasst wird. Das Verfahren zeichnet sich dadurch aus, dass die induktive Erwärmung mit einer Anregungsfrequenz von 20 kHz erfolgt, die so gewählt ist, dass eine Eindringtiefe des elektromagnetischen Impulses in den elektrisch leitfähigen Bereich größer oder gleich einer Tiefe von zu erfassenden verdeckten Fehlstellen im elektrisch leitfähigen Bereich und/oder größer oder gleich einer Dicke der Schicht bzw. des Substrates aus dem elektrisch leitfähigen Material ist. DOLLAR A Mit dem vorliegenden Verfahren lassen sich verdeckte Fehlstellen in metallischen Werkstücken oder darauf aufgebrachten nicht elektrisch leitfähigen Schichten mit hoher Nachweisempfindlichkeit erfassen. Das Verfahren ermöglicht auch die Bestimmung der Schichtdicke nicht elektrisch leitfähiger Schichten auf metallischen Substraten mit hoher Genauigkeit.
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