Flüchtige Vorläuferverbindungen für die Abscheidung von Metallen und metallhaltigen Schichten,申请号DE20016008289-传众专利搜索

发明名称	Flüchtige Vorläuferverbindungen für die Abscheidung von Metallen und metallhaltigen Schichten
摘要
申请公布号	DE60108289(D1)	申请公布日期	2005.02.17
申请号	DE20016008289	申请日期	2001.03.29
申请人	AIR PRODUCTS AND CHEMICALS, INC.	发明人	MORMAN, ANTHONY;ROBERTS, ALLEN;FARNIA, MORTEZA
分类号	C07F1/00;C07F1/08;C07F5/02;C07F7/10;C07F19/00;C23C16/18;H01L21/285;(IPC1-7):C07F1/00;C07F15/00;C23C16/00	主分类号	C07F1/00
代理机构		代理人
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