发明名称 Automatisches Ventilsteuersystem für ein mit Plasma arbeitendes chemisches Gasphasenabscheidungssystem sowie chemisches Gasphasenabscheidungssystem zur Abscheidung eines Mehrschichtfilms im Nanomaßstab
摘要
申请公布号 DE10392487(T5) 申请公布日期 2005.02.17
申请号 DE20031092487T 申请日期 2003.04.07
申请人 LEE, JUNG JOONG 发明人 LEE, JUNG JOONG
分类号 C23C16/34;C23C16/44;C23C16/455;(IPC1-7):C23C16/455 主分类号 C23C16/34
代理机构 代理人
主权项
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