晶圆切割机之线上交替式切割与磨刀方法

摘要

一种晶圆切割机之线上交替式切割与磨刀方法，该切割机包含一可沿一X轴方向往复移动的切割工作台、一可沿一Y轴方向与一Z轴方向往复移动的刀具组，及一可操控驱动该切割工作台与该刀具组的控制系统，该刀具组具有一可绕该Y轴方向旋转的主轴，及一固设于该主轴上的刀具，该切割与磨刀方法包含以下步骤：一、将至少一半导体元件与至少一研磨垫定位于该切割工作台上，二、使该刀具组与该切割工作台沿该Y轴方向及该X轴方向产生相对移动，且使该刀具旋转并沿该Z轴方向移动至切割该半导体元件，三、使该刀具组与该切割工作台沿该Y轴方向及该X轴方向产生相对移动，且使该刀具旋转并沿该Z轴方向移动至与该研磨垫进行研磨，四、重复进行步骤二、三。