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经营范围
发明名称
极冷泵
摘要
本发明系关于一种极冷泵,包括有气体进口孔的泵室,和泵室内利用冷冻源加以冷却的泵表面。泵表面的造型有问题,困一方面需有大表面,但在泵表面上生成的冷凝液呈现对气流通过泵表面的阻碍应尽量小。按照本发明,泵表面构成罩网(17),朝气体进口孔(26)呈凸曲面,其造型在朝气体进口孔(26)的表面无曲折,避免曲折,即避免结晶点。泵表面曲离气体进口孔,即可避免生成的冷凝液快速阻塞进口截面。
申请公布号
TW200506208
申请公布日期
2005.02.16
申请号
TW093120543
申请日期
2004.07.09
申请人
雷博真空公司
发明人
华尔德;席勒;奥西格;威斯赫特
分类号
F04B37/08
主分类号
F04B37/08
代理机构
代理人
李志鹏
主权项
地址
德国
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