防止导线短路之方法

摘要

本发明提供一种防止导线短路之方法，该方法包含下列步骤：提供一具有接触区域之基材；形成一第一开口于基材中，以暴露出接触区域；以第一导体材料填塞该第一开口形成第一导体层；去除第一导体层之一部分形成第二开口供暴露基材之侧壁；形成间隙壁(spacer)于侧壁；以第二导体材料填塞第二开口形成第二导体层；形成一图案化介电层于基材上，且图案化介电层定义导线开口，以暴露出第二导体层；以及以第三导体材料填塞导线开口形成一导线，其与第二导体层作电性接触。